Toote sissejuhatus
Materiaalsed omadused
Parameeter | Iseloomulik | ASTM -i juhtimismeetod |
Tüüp/dopant | P, Boron N, fosfor N, antimon N, arseen | F42 |
Orientatsioon | <100>, <111>Viilutage orienteerumised kliendi spetsifikatsioonide kohta | F26 |
Hapnikusisaldus | 1019 PPMA kohandatud tolerantsid kliendi spetsifikatsiooni kohta | F121 |
Süsinikusisaldus | < 0.6 ppmA | F123 |
Takistus ulatub, boori-, fosfor-n, antimon-n, arseen | 0.001 - 50 OHM CM | F84 |
Mehaanilised omadused
Parameeter | Peamine | Monitori/ testi a | Test | ASTM -meetod |
Läbimõõt | 300 ± 0,2 mm | 300 ± 0,2 mm | 300 ± 0,5 mm | F613 |
Paksus | 775 ± 20 um (standard) | 775 ± 25 um (standard) 450 ± 25 µm 625 ± 25 µm 1000 ± 25 µm 1300 ± 25 µm 1500 ± 25 µm | 775 ± 50 um (standard) | F533 |
Ttv | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm | F657 |
Vibu | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm | F657 |
Mähis | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm | F657 |
Serva ümardamine | Pool-std | F928 | ||
Märgistus | Ainult primaarne poolvoog, pool-std korterid jeida korterid, sälk | F26, F671 | ||
Pinnakvaliteet
Parameeter | Peamine | Monitori/ testi a | Test | ASTM -meetod |
Esikriteeriumid | ||||
Pinnatingimus | Keemiline mehaaniline poleeritud | Keemiline mehaaniline poleeritud | Keemiline mehaaniline poleeritud | F523 |
Pinnakaredus | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° | |
Contamination,Particles @ >0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Udu, šahtid, apelsinikoor | Mitte ükski | Mitte ükski | Mitte ükski | F523 |
Saejäljed, striigid | Mitte ükski | Mitte ükski | Mitte ükski | F523 |
Tagumised kriteeriumid | ||||
Praod, varesed, saejäljed, plekid | Mitte ükski | Mitte ükski | Mitte ükski | F523 |
Pinnatingimus | Kaustiline söövitatud | F523 | ||
Toote kirjeldus
Ideaalne mikrovedelike rakenduste jaoks . mikroelektroonika või MEMS -i rakenduste jaoks, pöörduge meie poole üksikasjalike andmete saamiseks .
Ehkki pooljuhtide seadmed kahanevad, on vahvlite jaoks üha olulisem, et nii esi- kui ka tagaküljel on kõrge pinnakvaliteet .. Praegu on need vahvlid kõige tavalisemad mikroelektromehaanilistes süsteemides (MEMS), vahvli sidemetes, räni isolaatoril (soi) valmistamisel ja rakendused kitsaste lamedate nõuetega {1} {1} {1} {1} {1} {1} {1} {1} Pooljuhtide tööstus ja on pühendunud pikaajaliste lahenduste leidmisele kõigile kliendi nõuetele .
Suured topeltküljega poleeritud vahvlid kõigis vahvli läbimõõtudes vahemikus 100 mm kuni 300mm . Kui teie spetsifikatsioon pole meie inventaris saadaval, oleme loonud pikaajalised suhted paljude müüjatega, kes on võimelised kohandatud tootmisvahveritega, mis sobivad mis tahes ainulaadsete spetsifikatsioonide jaoks.}} kahepoolse küljega pommitud wafersiga, mis on saadaval semiksitega, muul viisil. tööstus .
Kohandatud kuubikinnitus ja poleerimine on ka teie nõuete . kohaselt kasutatav. Palun võtke meiega ühendust .
Tooteomadused
· 12 "P/N tüüp, poleeritud räni vahvel (25 tk)
· Orienteerumine: 300
· Vastupidavus: 0.1 - 40 OHM • CM (see võib partiist erineda)
· Paksus: 775+/-20 um
· Prime/monitori/testide hinne
Kuum tags: 12 -tollised (300 mm) vahvli, Hiina, tarnijad, tootjad, tehas, valmistatud Hiinas
