Introduction Toote tutvustus】
MATERJALI OMADUSED
Parameeter | Iseloomulik | ASTM-i kontrollimeetod |
Tüüp / dopant | P, boor N, fosfor N, antimon N, arseen | F42 |
Orientatsioonid | <100>, <111> viiluta orientatsioonid kliendi spetsifikatsioonide järgi | F26 |
Hapniku sisaldus | 10 18 ppmA Kohandatud hälbed kliendi spetsifikatsiooni järgi | F121 |
Süsinikusisaldus | <0,5 ppma="" kohandatud="" hälbed="" kliendi="" spetsifikatsiooni=""> | F123 |
Vastupidavuse vahemikud - P, boor-N, fosfor-N, antimon-N, arseen | 0,001 - 50 oomi · cm | F84 |
MEHAANILISED OMADUSED
Parameeter | Peaminister | Monitor / test A | Test | ASTM meetod |
Läbimõõt | 100 ± 0,2 mm | 100 ± 0,2 mm | 100 ± 0,5 mm | F613 |
Paksus | 525 ± 20 µm (standard) | 525 ± 25 µm (standard) 381 ± 25 µm 625 ± 25 µm 700 ± 25 µm 800 ± 25 µm 1000 ± 25 µm 1500 ± 25 µm | 525 ± 50 µm (standard) | F533 |
TTV | <5> | <10> | <15> | F657 |
Vibu | <30> | <30> | <40> | F657 |
Wrap | <30> | <30> | <40> | F657 |
Serva ümardamine | SEMI-STD | F928 | ||
Märgistamine | SEMI-STD korterid, esmane SEMI-korter | F26, F671 | ||
PINNASVALITEET
Parameeter | Peaminister | Monitor / test A | Test | ASTM meetod |
Esikülje kriteeriumid | ||||
Pinna seisund | Keemiline mehaaniline poleeritud | Keemiline mehaaniline poleeritud | Keemiline mehaaniline poleeritud | F523 |
Pinna karedus | <2 a=""> | <2 a=""> | <2 a=""> | |
Saastumine, osakesed @> 0,3 um | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Haze, šahtid, apelsini koor | Puudub | Puudub | Puudub | F523 |
Saw Marks, triibud | Puudub | Puudub | Puudub | F523 |
Tagasi külgkriteeriumid | ||||
Praod, varesed, saemärgid, plekid | Puudub | Puudub | Puudub | F523 |
Pinna seisund | Kaustne söövitatud | F523 | ||
Description Toote kirjeldus 】
Microelectronics'i tootesarja kuuluvad nii ühepoolsed poleeritud (SSP) kui ka kahekordse poleerimisega (DSP) vahvelid. Kahepoolsed poleeritud vahvlid on tavaliselt nõutavad pooljuhtide, MEMSide ja muude rakenduste puhul, kus on nõutavad tihedalt kontrollitud tasapinnalisuse omadused.
Pakume ka ristkülikukujulisi ja ruudukujulisi vahvleid. Põhiliselt realiseeritav räniplaatide vahemik on 5 x 5 mm2 ... 100 x 120 mm2 jne. Kulude / vahvlite osa sõltub nii materjalist kui ka vajalike vahvelementide arvust.
Samuti on teie nõudmistele vastav kohandatud küpsetus ja poleerimine. Palun võtke meiega ühendust.
【 Toote omadused 】
· 4 "P / N tüüp, poleeritud räni vahvel (25 tk)
· Orientatsioon: 100
· Vastupidavus: 0,1 - 40 oomi · cm (see võib erineda partiist)
· Paksus: 525 ± 20 cm
· Pea / monitor / katse klass
Kuum tags: 4 tolli (100mm) vahvel, Hiina, tarnijad, tootjad, tehas, valmistatud Hiinas
