Metal Assisted Chemical etching (MACE) on hiljuti välja töötatud anisotroopne märg söövitamise meetod, mis on võimeline tootma mustrilistest metallkiledest suure kuvasuhtega pooljuhtnanostruktuure.
Hästi aktsepteeritud mudelis, mis kirjeldab MACE protsessi,oksüdanteelistatakse vähendadametallist katalüsaatorja augud (h+) süstitakse metallikatalüsaatorist Si-sse või elektronid (e−) kantakse Si-lt üle metallikatalüsaatorisse. Si metallist katalüsaatori all on maksimaalneaugu kontsentratsioon, mistõttuOksüdatsioonja Si lahustamine toimub eelistatavalt metallkatalüsaatori all.
Päikeseenergia muundamise kasutegur suureneb, kuikõrge kuvasuhekasutatakse slarvalguse kiiritamise pinnal.
1 Pinna seisund
parameeter | protsess | Peegeldamine |
Esikülg | ||
Pinna seisund | metall Abistatud keemiline söövitamine | madal |
Tagakülg | ||
Pinna seisund | Poleeritud või tekstureeritud | Kõrge või madal |
2 Materjali omadused
vara | Spetsifikatsioon | Inspekteerimismeetod |
Kasvumeetod | suunaline tahkestamine | XRD |
Kristallilisus | polükristalne | Soodusetchi tehnikad（ASTM F47-88） |
Juhtivuse tüüp | P-tüüp | Napson EC-80TPN P/N |
Dopant | boor | - |
Hapniku kontsentratsioon[Oi] | ≦1E+17 at/cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Süsiniku kontsentratsioon[Cs] | ≦1E+18 at/cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
3 Elektrilised omadused
vara | Spetsifikatsioon | Inspekteerimismeetod |
Vastupanu | 0,5-2 Ωcm (Pärast annet) | Vahvlikontrollisüsteem |
MCLT (vähemuskandja eluiga) | ≧2 μs | Sinton QSSPC |
4 geomeetria
vara | Spetsifikatsioon | Inspekteerimismeetod |
geomeetria | Ruut või ristkülik | Vahvlikontrollisüsteem |
Kaldserva kuju | liin | Vahvlikontrollisüsteem |
Vahvli suurus (Külje pikkus*külje pikkus) | 156mm*156mm 157mm*186mm 166mm*166mm | Vahvlikontrollisüsteem |
Nurk külgnevate külgede vahel | 90±3° | Vahvlikontrollisüsteem |
Kuum tags: must räni pind p tüüp polükristalne päikesevahvel, sealhulgas 166mm*166mm, Hiina, tarnijad, tootjad, tehas, valmistatud Hiinas
