Introduction Toote tutvustus】
MATERJALI OMADUSED
Parameeter | Iseloomulik | ASTM-i kontrollimeetod |
Tüüp / dopant | P, boor N, fosfor N, antimon N, arseen | F42 |
Orientatsioonid | <100>, <111> viiluta orientatsioonid kliendi spetsifikatsioonide järgi | F26 |
Hapniku sisaldus | 10 19 ppmA Kohandatud hälbed kliendi spetsifikatsiooni järgi | F121 |
Süsinikusisaldus | <0,6> | F123 |
Vastupidavuse vahemikud - P, boor-N, fosfor-N, antimon-N, arseen | 0,001 - 50 oomi · cm | F84 |
MEHAANILISED OMADUSED
Parameeter | Peaminister | Monitor / test A | Test | ASTM meetod |
Läbimõõt | 150 ± 0,2 mm | 150 ± 0,2 mm | 150 ± 0,5 mm | F613 |
Paksus | 675 ± 20 µm (standard) | 675 ± 25 µm (standard) 450 ± 25 µm 625 ± 25 µm 1000 ± 25 µm 1300 ± 25 µm 1500 ± 25 µm | 675 ± 50 µm (standard) | F533 |
TTV | <5> | <10> | <15> | F657 |
Vibu | <30> | <30> | <50> | F657 |
Wrap | <30> | <30> | <50> | F657 |
Serva ümardamine | SEMI-STD | F928 | ||
Märgistamine | Ainult SEMI-korter, SEMI-STD korterid Jeida Flat, Notch | F26, F671 | ||
PINNASVALITEET
Parameeter | Peaminister | Monitor / test A | Test | ASTM meetod |
Esikülje kriteeriumid | ||||
Pinna seisund | Keemiline mehaaniline poleeritud | Keemiline mehaaniline poleeritud | Keemiline mehaaniline poleeritud | F523 |
Pinna karedus | <2 a=""> | <2 a=""> | <2 a=""> | |
Saastumine, osakesed @> 0,3 um | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Haze, šahtid, apelsini koor | Puudub | Puudub | Puudub | F523 |
Saw Marks, triibud | Puudub | Puudub | Puudub | F523 |
Tagasi külgkriteeriumid | ||||
Praod, varesed, saemärgid, plekid | Puudub | Puudub | Puudub | F523 |
Pinna seisund | Kaustne söövitatud | F523 | ||
Description Toote kirjeldus 】
Ideaalne mikrofluidika rakendustele. Mikroelektroonika või MEMS rakenduste puhul võtke meiega ühendust, et saada üksikasjalikke andmeid.
Pooljuhtseadised kahanevad jätkuvalt, sest plaatidel on üha olulisem kõrge pinna kvaliteet nii esi- kui ka tagaküljel. Praegu on need plaadid kõige tavalisemad mikroelektromehaanilistes süsteemides (MEMS), vahekihtide kinnitamises, isolatsioonis (SOI) valmistatavas räni ja rangete tasapinnalisusega rakendustes. Mikroelektroonika tunnustab pooljuhtide tööstuse arengut ja on pühendunud pikaajaliste lahenduste leidmisele kõigi klientide nõudmistele.
Suur hulk kahekordseid poleeritud vahvpe kõikides vahekaugustes vahemikus 100 mm kuni 300 mm. Kui teie spetsifikatsioon ei ole meie inventuuris kättesaadav, oleme loonud pikaajalised suhted paljude müüjatega, kes on võimelised valmistama plaatide valmistamiseks mis tahes unikaalsed spetsifikatsioonid. Kahepoolsed poleeritud vahvlid on saadaval ränist, klaasist ja muudest pooljuhtitööstuses tavaliselt kasutatavatest materjalidest.
Samuti on teie nõudmistele vastav kohandatud küpsetus ja poleerimine. Palun võtke meiega ühendust.
【 Toote omadused 】
· 6 "P / N tüüp, poleeritud räni vahvel (25 tk)
· Orientatsioon: 150
· Vastupidavus: 0,1 - 40 oomi · cm (see võib erineda partiist)
· Paksus: 675 ± 20 cm
· Pea / monitor / katse klass
Kuum tags: 6 tolli (150mm) vahvel, Hiina, tarnijad, tootjad, tehas, valmistatud Hiinas
