See spetsifikatsioon määratleb N-tüüpi monokristallilised räni vahvlid (suurus M10) täiustatud päikesepatareide jaoks. Fosfori dopinguga Czochralski meetodi kaudu toodetud vahvlitel on madal hapnikukontsentratsioon (kuni 8E17 at/cm³), madala süsinikusisaldusega kontsentratsioon (kuni 5E16 at/cm³), söövituste tihedus kuni 500 cm⁻ ja täpne pinna orientatsioon 3 kraadi jooksul 3 kraadi jooksul 3 kraadi pinnale 3 kraadi.<100>.
Peamised elektrilised omadused hõlmavad takistusvahemikku 1,0 kuni 7,0 Ω.cm ja vähemusega kandja eluiga (minimaalselt 1000 μs).
Vahvlitel on optimeeritud pseudo-ruudu geomeetria, millel on külgpikkus 182 mm (tolerants 0,25 mm), läbimõõt 247 mm (tolerants 0,25 mm) ja külgnevad küljed 90 kraadi juures (tolerants 0,2 kraadi). Saadaval paksuses vahemikus 150–180 μm (tolerantsidega) tagavad need paksuse minimaalse variatsiooni (TTV maksimaalselt 27 μm). Pinna kvaliteeti kontrollitakse rangelt ("kui lõigatud ja puhastatud"), mis keelab saastumise ja mikrokraadid, mille piirid on saejäljed (maksimaalselt 15 μM), vibu ja lõime (maksimaalselt 40 μm). See suur formaat toetab tööstuse nihkumist optimeeritud valguse püüdmise poole.
1. materiaalsed omadused
|
Omand |
Spetsifikatsioon |
Kontrollimismeetod |
|
Kasvumeetod |
Cz |
|
|
Kristallilisus |
Monokristalliline |
Eelistatud söövitustehnikad(ASTM F47-88) |
|
Juhtivustüüp |
N-tüüpi |
Napson EC-80TPN |
|
Dopant |
Fosfor |
- |
|
Hapniku kontsentratsioon [OI] |
Vähem või võrdne8e +17 at/cm3 |
FTIR (ASTM F121-83) |
|
Süsiniku kontsentratsioon [CS] |
Vähem või võrdne5E +16 at/cm3 |
FTIR (ASTM F123-91) |
|
Söövituste tihedus (nihestustihedus) |
Vähem või võrdne500 cm-2 |
Eelistatud söövitustehnikad(ASTM F47-88) |
|
Pinna orientatsioon |
<100>± 3 kraadi |
Röntgendifraktsiooni meetod (ASTM F26-1987) |
|
Pseudo ruudu külgede orientatsioon |
<010>,<001>± 3 kraadi |
Röntgendifraktsiooni meetod (ASTM F26-1987) |
2.Elektrilised omadused
|
Omand |
Spetsifikatsioon |
Kontrollimismeetod |
|
Vastupidavus |
1,0-7,0 ω.cm
|
Vahvli kontrollsüsteem |
|
MCLT (vähemuste kandja eluaeg) |
Suurem kui 1000 u |
Sinton BCT-400
Mööduv
(süstimistasemega: 5e14 cm-3)
|
3. geomeetria
|
Omand |
Spetsifikatsioon |
Kontrollimismeetod |
|
Geomeetria |
pseudoväljak |
|
|
Kaldus serva kuju
|
ring | |
|
Vahvli külje pikkus |
182 ± 0,25 mm
|
vahvli kontrollsüsteem |
|
Vahvli läbimõõt |
φ247 ± 0,25 mm |
vahvli kontrollsüsteem |
|
Nurk külgnevate külgede vahel |
90 kraadi ± 0,2 kraadi |
vahvli kontrollsüsteem |
|
Paksus |
180 ﹢ 20/﹣10 µm
175﹢ 20/﹣10 µm
170﹢ 20/﹣10 µm
165﹢ 20/﹣10 µm
160﹢ 20/﹣10 µm
150﹢ 10/﹣10 µm
|
vahvli kontrollsüsteem |
|
TTV (kogu paksuse variatsioon) |
Vähem või võrdne 27 µm |
vahvli kontrollsüsteem |
4.Pinnaomadused
|
Omand |
Spetsifikatsioon |
Kontrollimismeetod |
|
Lõikamismeetod |
Dw |
-- |
|
Pinnakvaliteet |
Lõikamise ja puhastatud korral pole nähtavat saastumist (õli või määrded, sõrmeprindid, seebiplekid, lägaplekid, epoksü/liimiplekid pole lubatud) |
vahvli kontrollsüsteem |
|
Saejäljed / sammud |
Vähem või võrdne 15 um |
vahvli kontrollsüsteem |
|
Vibu |
Vähem või võrdne 40 µm |
vahvli kontrollsüsteem |
|
Väänduma |
Vähem või võrdne 40 µm |
vahvli kontrollsüsteem |
|
Kiib |
sügavus on väiksem kui 0,3 mm ja pikkusega väiksem või võrdne 0,5 mm maksimaalselt 2/tk; pole V-kiip |
Palja silmaga või vahvli kontrollisüsteem |
|
Mikropraod / augud |
Pole lubatud |
vahvli kontrollsüsteem |
Kuum tags: N-tüüpi M10 monokristalliline räni vahvli spetsifikatsioon, Hiina, tarnijad, tootjad, tehas, valmistatud Hiinas
